氦氣檢漏儀，氦氣質譜檢漏儀，真空檢漏儀，檢漏儀，真空箱氦檢漏系統，充氦回收系統

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

真空檢漏（vacuum leak detection）就是檢測真空系統的漏氣部位及其大小的過程。真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。

漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計，則平衡式變為puSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數)，要得到低的極限壓力便應降低漏氣量，檢漏便是關鍵的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側通向大氣側。漏孔一般很微小，實際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率（在規定的條件下氣體流過漏孔的流量）來表示。漏孔兩側存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側重于對零部件的檢漏。零部件經過嚴格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。

氦廣泛應用于科學和醫療設備、航空航天、電子和低溫技術領域。近年來，對氦的需求不斷增加，暴露了供應不足的問題，從天然氣中回收的氦是氦的主要來源，低溫蒸餾結合變壓吸附是目前生產氦的主要技術，但這種工藝設備昂貴，能耗高。因此，高效節能分離技術的發展一直是科學研究的熱點，膜分離技術因其能耗低、設備投資少、體積相對較小等優點，逐漸應用于各種分離領域。

氦液化器和氦液回收系統可以幫助回收低溫設備中正常蒸發和氦傳輸流失的氦氣，并重復使用它們。這些氦液化器和回收系統適用于液氦消耗設備的研究和醫療，如液氦超導磁體、PPMS、MPMS、液氦低溫器、STM、NMR、MEG等，它可以幫助你避免購買液體氦的繁瑣過程，并節省大量購買液體氦的成本。同時，你也會盡力保護寶貴的自然資源，這是一項非常重要的科學研究和醫療保健。

氦液化器，擁有友好的觸摸屏用戶界面，可通過互聯網遠程訪問。全自動操作允許你把更多的時間花在工作上而不是冷劑維護，與工業氦液化器不同，它體積小，體積輕，便于通過門和斜坡，可大大降低多次輸液氦造成的損失。這些特性使得液氦的回收和轉移比以往任何時候都更加方便。

回收系統可以用于各種類型的低溫設備。定制配件和連接裝置可用于各種儀器，以便無縫集成到您的實驗室或低溫設備上，回收系統的每一個階段都有防故障保護裝置，這樣在發生事故時，回收系統的其余部分和低溫儀器就不會受到損壞或污染。

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