詳細介紹：

高純氮氣：在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相 淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在 外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。

在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換 ，再用高純氦置換。迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員 戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處 積聚，遇點火源著火爆炸。

用排風機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修 復、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發，但 不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸、就醫。